荷蘭ASML阿斯麥公司是生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的廠家，也是除此之外別無他家的一家公司，而EUV光刻機(jī)是半導(dǎo)體工藝進(jìn)入10nm時(shí)代后進(jìn)行光刻所必須具備的一個(gè)光刻條件，也是最為復(fù)雜的一步。中芯國際于去年與ASML公司購買了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，近日中芯國際也表示是與ASML公司之間已經(jīng)解決了光刻機(jī)的問題，不日將會(huì)將加速EUV的研發(fā)。
然而又有消息傳來說ASML公司停止了對中芯國際的光刻機(jī)供應(yīng)，不過ASML公司稱并沒有停止供應(yīng)，而是延期，延期的主要原因是在準(zhǔn)備荷蘭方面的出口申請文件手續(xù)。聯(lián)系當(dāng)下西方世界對于中國在此方面的封鎖，不禁讓人浮想聯(lián)翩。此前對中興、華為的斷供，不禁讓人覺得這次延期會(huì)是一個(gè)長時(shí)間的拉鋸戰(zhàn)。
日前，中芯國際董事長周子學(xué)到達(dá)韓國進(jìn)行訪問，韓媒稱周子學(xué)發(fā)布聲明說與ASML公司之間存在的供應(yīng)問題已經(jīng)解決，還特別強(qiáng)調(diào)了中芯國際不會(huì)受到影響，其先進(jìn)工藝的研發(fā)與生產(chǎn)一直處在正軌上，與設(shè)備供應(yīng)商和客戶之間的供應(yīng)不存在任何問題。
據(jù)悉，今年一年，ASML公司一共交付了8臺(tái)EUV光刻機(jī)，平均每臺(tái)的價(jià)格達(dá)到了1.2億歐元，換算過來每臺(tái)高達(dá)人民幣9.3億，可謂是世界上最昂貴的設(shè)備之一了。而為什么這么貴，其實(shí)是有他的道理的。
一套EUV光刻系統(tǒng)，包含了10萬個(gè)零件、4萬個(gè)螺栓、3千條電線以及長達(dá)2公里的軟管。每次運(yùn)輸需要20輛卡車、40個(gè)貨柜和3架次貨機(jī)才能運(yùn)輸完畢，其重量高達(dá)180噸，每部的造價(jià)就超過了一億美元。光靠體積就已經(jīng)是個(gè)龐然大物可，更別說里面還包含如此精密復(fù)雜的工藝。
在中芯國際表明了解決了與ASML公司的供貨問題后，如果情況屬實(shí)，將會(huì)是國產(chǎn)芯片跨越10nm進(jìn)步到7nm的一大步，著實(shí)令人可喜。不過如此重要的關(guān)鍵技術(shù)還掌握在他人手中，實(shí)在是難以放心。希望國內(nèi)各方力量在此方面務(wù)必加油，早日做出掌握在自己手中的關(guān)鍵技術(shù)。各位讀者，你們覺得呢？
